臭氧檢測儀主要部件包括低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件等等。主要是用于臭氧制備車間（臭氧發生器、臭氧廠房等）、化工、石油、造紙、紡織、制藥和香精香料工業、水處理、食品醫藥滅菌車間等場合。
臭氧檢測儀由傳感器和設備自身的主板電路等組成，可把它分成兩個主要部分，一部分為傳感器部分，另一部分為檢測儀的本體部分。
臭氧檢測儀的傳感器是有固定使用壽命的，不同原理的傳感器它的使用壽命是不同的。如電化學原理的傳感器正常設計壽命為兩年到期就得更換，更換時間一般使用次數和存儲時間沒有多大關系，因為電化學傳感器內部為電解液，在傳感器的放置過程中會自然減少，因此即使不使用都會消耗，所以它基本是有一個固定更換周期的，一旦到期就必須更換。
另一個部分為臭氧檢測儀的電路板部分，單從這一點來說，一般設計可靠、用料充足的電路基本可以保證3-5年機身使用壽命。有些便攜式檢測儀中有吸氣泵和電池，這類配件一般可以用2年左右。
正常使用下臭氧檢測儀的電路板不會出現問題，大部分情況都是傳感器失效導致儀器故障，電化學傳感器的使用壽命在2年左右，2年后就需要檢測儀器性能然后判斷是否需要更換。
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