臭氧檢測儀主要由紫外吸收池、紫外燈、光度檢測器、臭氧過濾器、采樣泵、流量控制器、流量計、溫度指示器、壓力指示器等組成。當空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，樣品空氣交替地或直接進人吸收池或經過臭氧過濾器再進入吸收池，臭氧對254 nm波長的紫外光有特征吸收。零空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I0；含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為L每經過一個循環周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律可求出臭氧的濃度。
臭氧檢測儀校準的兩種方法：
1.校準儀器
采用紫外光法選擇10個測試點，比較臭氧檢測儀的分布情況，誤差范圍控制在+1%以內為合格。
2.化學滴定
這是目前*化學方法即碘化鉀、硫代硫酸鈉滴定法來檢測臭氧濃度。也分布選取10個測試點，然后用臭氧檢測儀與化學滴定法測試的10個點進行對比，誤差范圍控制在+1%以內。
碘化鉀滴定法原理是用強氧化劑臭氧與碘化鉀反應，使碘游離出來到水里，水就會變為茶色(O3+2KI+H2OO2+I2+KOH)，利用硫代硫酸鈉標準液滴定，使游離碘變為NaI，反應終點為水*褪色(I2+2Na2S2O32NaI+Na2S4O6)。
臭氧濃度公式：C=(Ana×B×2400)/V0單位(mg/l)。
其中：
硫代硫酸鈉標準溶液劑量ml；
V0-臭氧氧化其它取樣量ml；
B-硫代硫酸鈉mol/l標準溶液濃度。
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