臭氧發生器的組成部分包括臭氧發生器、電源、氣路控制系統、冷卻水系統以及自動控制系統。在臭氧發生室內的高頻高壓電場內，部分氧氣轉換成臭氧，經溫度、壓力監測后、經出氣調節閥后由臭氧出氣口排出。
在自動控制系統中，臭氧發生聯動控制模塊根據排放尾氣中的污染物含量，自動調節發生器注入臭氧量，突破了進口煙氣量波動、排放煙氣含硝量不穩定的技術瓶頸；臭氧尾氣破壞模塊負責分解多余臭氧，避免多余臭氧排入大氣，使尾氣達到排放標準。
臭氧發生器在蔬菜大棚病蟲防治的使用：
1.熏棚消毒殺菌
定植*天可結合高溫悶棚利用臭氧發生器將臭氧集中施放于棚內，施放時間以不少于2小時為宜。
2.防治苗床病蟲
先將苗床封嚴，每10平方米每次施放1分鐘，并密閉熏蒸10分鐘，然后再通風30分鐘。
3.設施蔬菜定植后的病蟲防治
定植緩苗后，每畝棚室持續施放臭氧7-10分鐘，再密閉熏蒸15-20分鐘，然后通風30分鐘。無病蟲的棚室每5-7天施放1次，連續施用5次，每經2-3次施放時間再增加5分鐘，直到每畝每次增至25分鐘。熏蒸時間也同樣每經2-3次增加5-10分鐘。
試驗證明，臭氧對番茄灰霉并葉霉并早疫并晚疫病，黃瓜霜霉并疫病等以及溫室白粉虱、潛葉蠅、蚜蟲等病蟲防治效果不錯。但對棚室土壤中的病蟲，由于臭氧氣體滲入土中的量太少，濃度也太低，故沒有作用。所以將臭氧氣體導入清水中并不斷攪拌，10分鐘后即制得臭氧溶液。臭氧溶液可以滲入土中，從而實現對土壤中的病蟲殺菌和驅趕。
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