研究表明，臭氧是廣譜、高效、快速殺菌劑，
臭氧發生器可迅速殺滅使人和動物致病的各種病菌，病毒及微生物。臭氧是一種氧化性非常強的物質，利用它的氧化性，可以在較短時間內破壞細菌、病毒和其它微生物的生物結構，臭氧發生器使之失去生存能力。利用氧化性來殺死微生物以達到滅菌效果的化合物還有很多，比如常見的氯氣、漂白粉、高錳酸鉀等。但這些殺菌劑不但比臭氧殺菌速度慢，而且一般的殺菌劑對人體有害。
臭氧發生器的氣源選用主要以臭氧發生量來確定，分為氣態下消毒和液態下消毒兩大類。臭氧發生量和使用量一般按照發生量的額定發生量乘以時間來確定，但在不同的用途和不同的場所應計出衰減量而后確定。臭氧發生器在使用中氣源的配置直接影響臭氧的發生濃度、產量和純度，氣源一般分為普通氣源、干燥空氣源、富氧氣源和工業氧氣氣源四種，以上氣源的配置，在發生裝置相同的情況，濃度和產量依次遞增。按照應用常識一般不應配置普通氣源，因為這會影響發生裝置的連接使用壽命并導致發生量不穩定。因此，常用的氣源按用途大體可分以下幾種：
1.干燥氣源：空間消毒、自來水處理、游泳池水、養殖水、生產循環水、中水回用等；
2.富氧氣源：臭氧濃度需求較高的使用場所，如純凈水、礦泉水、污水處理、醫藥食品車間等；
3.工業氧氣源：純度要求較高、濃度需求較重要、小氣量應用場所等。
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