紫外法臭氧檢測儀十分便捷，用途廣泛，穩定性好，有溫度、濕度和海拔高度修正功能，可隨時隨地確保讀數準確。濕度修正技術克服了傳統分析儀的限制，使得濕度對臭氧測量的干擾從高達近百個ppb降低到可以接受的幾個ppb的水平。
臭氧檢測儀利用的紫外線吸收法是現在在國際上流行的物理方法分析臭氧的方法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據朗伯-比耳定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可檢測0.002mg/m3至5%(vol)濃度的臭氧。其線形在4-5個數量級內都很好，該法已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方法(GB/T)。紫外線吸收法不但適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可檢測水中溶解的臭氧濃度。
紫外法臭氧檢測儀由紫外燈、光波過濾器、臭氧吸收池、參考光電傳感器、信號光電傳感器、輸出顯示以及電路部件等構成。穩定的紫外燈光源產生紫外線，當氣體樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光（臭氧對253.7nm波長的紫外光有特征吸收），只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌去器再進入吸收池，到達采樣光電傳感器，通過吸收池時被光傳感器檢測的光強度為I0，臭氧樣品通過吸收池時被光檢測器檢測的光強度為I，I/I0為透光率。每經過一個循環周期樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，儀器的微處理系統根據朗伯-比耳定律計算，可得出臭氧濃度。
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